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小型 薄型 回転 ピエゾステージ

MICRONIX USA社の回転ステージは、小型で薄型なピエゾステージです。

エンコーダー無しで最高１μ°の分解能、エンコーダ付で、最高１μ°の分解能で、10-9 Torrまでの超高真空、クリーンルーム、耐放射線対応可能です。

波長板やポラライザなどのアライメントに最適です。

MICRONIX社のピエゾステージは、Multi-Phase方式（特許）で駆動しています。この方式は、従来よく使用されている１Phase方式に比べ、ノイズが少ない為、動きがより滑らかになり、安定性も高くなります。

ピエゾモータの詳細はこちらをご覧下さい。( 5.3MB )⇒

通常品のステージ本体はアルミニウム、ベアリングはスチールですが、その他の材料（ステンレス、チタン等）での特注も可能です。

*モデル名をクリックすると、詳細仕様と図面等が記載されたメーカサイトへジャンプします。

真空、低温、非磁性の仕様の詳細はこちらへ⇒
maunt
★ステージ取付部の平面度が不十分な場合、性能が得られない事がありますので、平面度は10um以内を目安にご用意下さい。

pr-32

MICRONIX USA
PR-32

■ 回転ステージ、 0.5インチアパーチャ付

■ 360度回転

■ ステージサイズ: 32 x 35.5 mm , 厚さ 14 mm

■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )

■ 最大移動速度:6 [°/s](MMC-100), 30 [°/s](MMC-110)

■ オープンループ分解能: 3.6　μ°

■ クローズドループ最少移動量: 5　μ°

■ 10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、耐放射線対応

pr-32

MICRONIX USA
PR-50new

■ 回転ステージ、 1インチアパーチャ付

■ 360度回転

■ ステージサイズ: 55 x 50 mm , 厚さ 26.5 mm

■ Load: 3 kg ( 20 N @ horizontal orientation )

■ 最大移動速度:15 [°/s](MMC-100), 25 [°/s](MMC-110)

■ オープンループ分解能: 1　μ°

■ クローズドループ最少移動量: 5　μ°

■ 10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、耐放射線対応

ピエゾモータの詳細はこちらをご覧下さい。( 5.3MB )⇒
コントローラについてはこちらをご覧下さい。⇒

更新 2017/08/02