米国 MICRONIX USA 社は、ナノメータ精度の小型ステージの専門メーカです。2006年に設立され、独国 MICOS 社 ( 現 PI・miCos 社 )の米国での営業と小型ステージの設計・製造を担って来ました。2012年、MICOS社から独立し、NASAの火星探査機搭載や、スタンフォード大学等、米国のほとんど全ての加速器への製品納入実績を持つ小型ステージの製造販売をアメリカで始めました。
製造しているのは、ピエゾモータステージ、リニアモータステージ、ステッピングモータステージの3種類です。 また特注で、これらのステージを利用したヘキサポッドも製造可能です。
MICRONIX社のピエゾステージは、Multi-Phase方式（特許）で駆動しています。この方式は、従来よく使用されている１Phase方式に比べ、ノイズが少ない為、動きがより滑らかになり、安定性も高くなります。
ピエゾモータの詳細はこちらPDFをご覧下さい。( 5.3MB )⇒
ピエゾステージは、レゾリューションが細かく、エンコーダ付で、10-9 mbarまでの超高真空、77Kまでの低温、非磁性のアプリケーション（最大300㎜トラベル）も可能ですが、スピードはリニアモータステージの方が速く、Blocking Forceはステッピングモータステージの方が大きく、価格も安くなっています。
サイズ、材質、スペック、耐放射線対応、クリーンルーム対応等、お客様のご要望に合わせた特注対応も可能です。
真空、低温、非磁性の仕様の詳細はこちらへ⇒
ステージ
MICRONIX USA
高精度 小型 ピエゾステージ
★ ステージとコントローラを合わせた低価格モデル新登場！
■ Xステージ、XYステージ、回転ステージ
■ ストローク: 4 mm 〜 1000 mm
■ ステージサイズ: 最小 12 x 12 mm 厚さ 7 mm
■ Load: max 25 kg ( 250 N @ horizontal orientation)
■ Blocking force : max 5 N
■ 最大移動速度: 〜 10 mm / sec
■ 分解能: 1 nm 〜 50 nm
■ XY, XZ, XYZアッセンブリ, ヘキサポッド可能
■ エンコーダ付で、10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、77 K までの低温、非磁性、耐放射線（最大300㎜トラベル）対応
MICRONIX USA
小型 薄型 回転 ピエゾステージ
■ アパーチャー径: 1インチ、1/2インチm
■ ステージサイズ: 最小 29.4 x 35.5 mm 厚さ 14 mm
■ Load: max 3 kg ( 10 N @ horizontal orientation)
■ Blocking force : max 5 N
■ 最大移動速度: 15 [°/s](MMC-100), 25 [°/s](MMC-110)
■ 最小分解能: 1 μ°
■ エンコーダ付で、10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、耐放射線対応
MICRONIX USA
小型 直動ステージ & アクチュエータ
■ ステッピングモータステージ & アクチュエータ
■ X軸ステージ、Z軸ステージ、回転ステージ、ゴニオステージ
■ ストローク: 10 mm 〜 1000 mm
■ ステージサイズ: 最小 39 x 62 mm 厚さ 15 mm
■ Load: max 20 kg ( 200 N @ horizontal orientation)
■ Blocking force : max 30 N
■ 最大移動速度: 10 mm / sec
■ 分解能: 50 nm 〜 100 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ XY, XZ, XYZアッセンブリ, ヘキサポッド可能
■ 10-9 mbarまでの真空対応
■ 耐放射線対応のステージについてはお問い合わせ下さい。
MICRONIX USA
高速 高精度 小型 直動ステージ
■ リニアモータステージ
■ ストローク: 11 mm 〜 1000mm
■ ステージサイズ: 最小 339 x 62 mm 厚さ 15 mm
■ Load: max 25 kg ( 250 N @ horizontal orientation)
■ 最大移動速度: 250 mm / sec
■ 分解能: 2 nm 〜 10 nm
コントローラ
MICRONIX USA
ピエゾモータコントローラ
■ オープンループ分解能: 1 nm
■ クローズドループ分解能: 2 nm
■ デジタル & アナログ制御
■ Windows GUI、DLL、LabVIEW VI 対応
MICRONIX USA
ステッピングモータコントローラ
■ オープンループ分解能: 100 nm
■ クローズドループ分解能: 50 nm
■ デジタル & アナログ制御
■ Windows GUI、DLL、LabVIEW VI 対応
* リニアモータ用コントローラ/ドライバについてはお問い合わせ下さい。
更新 2019/09/12
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