- Home ＞
- 取扱製品 ＞
- 小型ステージ ＞
- MICRONIX USA
小型 精密位置決めステージ
MICRONIX USA社のステッピングモータステージは、小型で、低価格なステージです。X軸ステージ、Z軸ステージ、回転ステージ、ゴニオステージ、アクチュエータをご用意しています。また、特注で、これらのステージを利用したヘキサポッドも製造可能です。
10-9 Torrまでの真空に対応致します。
*モデル名をクリックすると、詳細仕様と図面等が記載されたメーカサイトへジャンプします。
★XYZアッセンブリもお客様サイドで簡単に可能です。
カスタムシステムも可能です。お気軽にお問い合わせ下さい。⇒カスタム例はこちらへ
真空仕様の詳細はこちらへ⇒
★ステージ取付部の平面度が不十分な場合、性能が得られない事がありますので、平面度は10um以内を目安にご用意下さい。
★低温用以外のステージのオペレーション温度範囲は5℃から40℃となります。
MICRONIX USA
PPS-20SM
■ スチール製 クロスローラベアリング
■ ストローク: 12, 18, 26, 51 mm
■ ステージサイズ: 最小 39 x 62 mm, 厚さ 15 mm
■ Load: 2 kg ( 20 N @ horizontal orientation)
■ Blocking force : 5 N
■ 最大移動速度: 5 mm / sec
■ オープンループ分解能: 100 nm
■ クローズドループ最少移動量: 100 nm
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ,ヘキサポッド可能
■ 10-6 mbarまでの真空対応
■ オプションで+-200nm精度のスケールを取付け可能
MICRONIX USA
PPS-28SM
■ スチール製 クロスローラベアリング
■ ストローク: 26, 51, 76, 102 mm
■ ステージサイズ: 最小 48 x 85 mm, 厚さ 15mm
■ Load: 5 kg ( 50 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 5 N
■ 最大移動速度: 5 mm / sec
■ オープンループ分解能: 100 nm
■ クローズドループ最少移動量: 100 nm
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ,ヘキサポッド可能
■ 10-6 mbarまでの真空対応
MICRONIX USA
PPS-60SM
■ スチール製 ボールベアリング
■ ストローク: 25, 50, 100, 200, 300 mm
■ Load: 15 kg ( 150 N @ horizontal orientation )
■ 最大移動速度: 5 mm / sec, モータ外付時 15 mm / s
■ オープンループ分解能: 100 nm
■ クローズドループ分解能: 50 nm
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ,ヘキサポッド可能 ( ES-50 Z軸ステージも使用可 )
■ 10-9 mbarまでの真空対応
MICRONIX USA
PPS-110SM
■ スチール製 リサーキュレーティング・ボールベアリング
■ ストローク: 100, 200, 300, 500, 1000 mm
■ Load: 25 kg ( 250 N @ horizontal orientation )
■ 最大移動速度: 10 mm / sec
■ オープンループ分解能: 100 nm
■ クローズドループ分解能: 50 nm
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ,ヘキサポッド可能 ( ES-50 Z軸ステージも使用可 )
■ 10-9 mbarまでの真空対応
MICRONIX USA
VT-21S
■ ボールスライド
■ ストローク: 10 mm
■ ステージサイズ: 22 x 24 mm, 厚さ20.6 mm
■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 10 N
■ 最大移動速度: 5 mm / sec
■ オープンループ分解能: 500 nm
■ クローズドループ分解能: 50 nm
■ クローズドループ最少移動量: 100 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能
■ 10-6 mbarまでの真空対応
MICRONIX USA
VT-21L
■ ボールスライド
■ ストローク: 26 mm
■ ステージサイズ: 22 x 46 mm, 厚さ20.6 mm
■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 10 N
■ 最大移動速度: 5 mm / sec
■ オープンループ分解能: 500 nm
■ クローズドループ分解能: 50 nm
■ クローズドループ最少移動量: 100 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能
■ 10-6 mbarまでの真空対応
MICRONIX USA
VT-21S
■ ボールスライド
■ ストローク: 10 mm
■ ステージサイズ: 22 x 24 mm, 厚さ20.6 mm
■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 10 N
■ 最大移動速度: 5 mm / sec
■ オープンループ分解能: 500 nm
■ クローズドループ分解能: 50 nm
■ クローズドループ最少移動量: 100 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能
■ 10-6 mbarまでの真空対応
MICRONIX USA
VT-21L
■ ボールスライド
■ ストローク: 26 mm
■ ステージサイズ: 22 x 46 mm, 厚さ20.6 mm
■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 10 N
■ 最大移動速度: 5 mm / sec
■ オープンループ分解能: 500 nm
■ クローズドループ分解能: 50 nm
■ クローズドループ最少移動量: 100 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能
■ 10-6 mbarまでの真空対応
MICRONIX USA
VT-50L
■ ボールベアリング ( クロスローラベアリングオプション )
■ ストローク: 55, 100, 200, 300 mm
■ ステージサイズ: 最小214.2 x 61.7 mm, 厚さ 39.8 mm
■ Load: 20 kg ( 200 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 50 N
■ 最大移動速度: 10 mm / sec
■ オープンループ分解能: 100 nm
■ クローズドループ分解能: 50 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能 ( ES-50 Z軸ステージも使用可 )
■ 10-6 mbarまでの真空対応
MICRONIX USA
ES-50
■ Z軸ステージ
■ ボールスライド
■ ストローク: 10 mm
■ ステージサイズ: 41 x 49 mm, 厚さ最小 41 mm
■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )
■ 最大移動速度: 5 mm / sec
■ オープンループ分解能: 500 nm
■ クローズドループ分解能: 50 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ 10-6 mbarまでの真空にも対応
MICRONIX USA
PZS-90
■ Z軸ステージ
■ スチール製 クロスローラーベアリング
■ ストローク: 35 mm
■ ステージサイズ: 90 x 96 mm, 厚さ最小 90.5 mm
■ Load: 15 kg ( 150 N @ horizontal orientation )
■ 最大移動速度: 10 mm / sec
■ オープンループ分解能: 500 nm
■ クローズドループ分解能: 100 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ PPS-60, PPS-110, VT50Lとあわせて XZ, XYZ アッセンブリ可能
■ 10-6 mbarまでの真空にも対応
MICRONIX USA
PR-50SM
■ 回転ステージ
■ 360度回転
■ ステージサイズ: 52 x 61 mm , 厚さ 41 mm
■ Load: 2 kg ( 20 N @ horizontal orientation )
■ 最大移動速度: 1800[°/s] ( 5 rev / sec )
■ オープンループ分解能: 10 μ°
■ クローズドループ最少移動量: 5 μ°
■ 10-6 mbarまでの真空対応
MICRONIX USA
PG-50SM
■ ゴニオステージ
■ +-5度回転
■ ステージサイズ: 50 x 96 mm , 厚さ 22 mm (79mm )
■ Load: 2 kg ( 20 N @ horizontal orientation )
■ 最大移動速度: 5[°/s]
■ オープンループ分解能: 1 μ°
■ クローズドループ最少移動量: 1 μ°
■ 10-6 mbarまでの真空対応
MICRONIX USA
MP-21
■ アクチュエータ
■ ストローク: 12, 25 mm
■ サイズ: 20.2 x 23.2 mm, 長さ最小 52.8 mm
■ Force: 40 N
■ 最大移動速度: 5 mm / sec
■ オープンループ分解能: 100 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ 10-6 mbarまでの真空対応
MICRONIX USA
MPA-20
■ 超高真空用アクチュエータ
■ フィードスルーオプション
■ ストローク: 12 mm
■ サイズ: 33 mm径, 長さ最小 176 mm
■ Force: 100 N
■ オープンループ分解能: 100 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ 10-9 mbarまでの真空対応
コントローラについてはこちらをご覧下さい。⇒
スピードが必要な場合はリニアステージをご覧下さい。⇒
分解能 が必要な場合はピエゾモータステージをご覧下さい。⇒
更新 2018/02/27
お問合せ