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高精度 小型 薄型 ピエゾステージ
MICRONIX USA社のピエゾステージは、小型で、高分解能なステージです。 X軸ステージ、XYステージ、回転ステージをご用意しています。また、特注で、これらのステージを利用したヘキサポッドも製造可能です。
エンコーダ付で、10-9 Torrまでの超高真空、77Kまでの低温、非磁性のアプリケーション（最大1000㎜トラベル）も対応可能です。
MICRONIX社のピエゾステージは、Multi-Phase方式（特許）で駆動しています。この方式は、従来よく使用されている１Phase方式に比べ、ノイズが少ない為、動きがより滑らかになり、安定性も高くなります。
ピエゾモータの詳細はこちらをご覧下さい。( 5.3MB )⇒
通常品のステージ本体はアルミニウム、ベアリングはスチールですが、その他の材料（ステンレス、チタン等）での特注も可能です。
*モデル名をクリックすると、詳細仕様と図面等が記載されたメーカサイトへジャンプします。
★XYZアッセンブリもお客様サイドで簡単に可能です。
カスタムシステムも可能です。お気軽にお問い合わせ下さい。⇒カスタム例はこちらへ
真空仕様の詳細はこちらへ⇒
★ステージ取付部の平面度が不十分な場合、性能が得られない事がありますので、平面度は10um以内を目安にご用意下さい。
★低温用以外のステージのオペレーション温度範囲は5℃から40℃となります。
MICRONIX USA
PP-12
■ スチール製 ボールスライド
■ ストローク: 4 mm
■ ステージサイズ: 12 x 12mm, 厚さ7mm
■ Load: 0.25 kg ( 2.5 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 1 N
■ 最大移動速度: 1 ( MMC-100 使用時 ), 3 mm / sec ( MMC-110 使用時 )
■ オープンループ分解能: 1 nm
■ クローズドループ最少移動量: 20 nm
■ XY アッセンブリ可能
■ 10-9 mbarまでの真空対応
MICRONIX USA
PP-18
■ スチール製 クロスローラベアリング
■ ストローク: 12, 18, 26 mm
■ ステージサイズ: 最小 17 x 20mm, 厚さ10mm
■ Load: 0.5 kg ( 5 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 1.5 N
■ 最大移動速度: 2 mm / sec
■ オープンループ分解能: ±10 nm
■ クローズドループ最少移動量: 40 nm
■ XY アッセンブリ可能
MICRONIX USA
PPS-20
■ スチール製 クロスローラベアリング
■ ストローク: 12, 18, 26, 51 mm
■ ステージサイズ: 最小 20 x 20 mm, 厚さ 13mm
■ Load: 2 kg ( 20 N @ horizontal orientation)
■ Blocking force : 2 N
■ 最大移動速度:2 ( MMC-100 使用時 ), 10 mm / sec ( MMC-110 使用時 )
■ オープンループ分解能: 1 nm
■ クローズドループ最少移動量: 2 nm ( 10 nm @ 77K )
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能
■ エンコーダ付で、10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、77 K までの低温、非磁性、耐放射線（最大51㎜トラベル）対応
MICRONIX USA
PPS-28
■ スチール製 クロスローラベアリング
■ ストローク: 26, 51, 76, 102 mm
■ ステージサイズ: 最小 28 x 45 mm, 厚さ 15mm
■ Load: 5 kg ( 50 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 2 N
■ 最大移動速度: 2 ( MMC-100 使用時 ), 10 mm / sec ( MMC-110 使用時 )
■ オープンループ分解能: 1 nm
■ クローズドループ最少移動量: 1 nm ( 10 nm @ 77K )
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能
■ エンコーダ付で、10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、 非磁性、耐放射線（最大102㎜トラベル）対応
MICRONIX USA
PPS-60PM
■ スチール製 ボールベアリング
■ ストローク: 25, 50, 100, 200, 300 mm
■ ステージサイズ: 最大 60 x 304 mm, 厚さ 30mm
■ Load: 15 kg ( 150 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 5 N
■ 最大移動速度: 5 mm / sec ( MMC-110 使用時 )
■ オープンループ分解能: 1 nm
■ クローズドループ最少移動量: 2 nm ( 10 nm @ 77K )
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能
■ エンコーダ付で、10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、非磁性、耐放射線（最大300㎜トラベル）対応
MICRONIX USA
PPS-110PM
■ スチール製 リサーキュレーティング・ボールベアリング
■ ストローク: 100, 200, 300, 500, 1000 mm
■ ステージサイズ: 最大 120.7 x 1140 mm, 厚さ 40mm
■ Load: 25 kg ( 250 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 5 N
■ 最大移動速度: 5 mm / sec ( MMC-110 使用時 )
■ オープンループ分解能: 1 nm
■ クローズドループ最少移動量: 2 nm ( 10 nm @ 77K )
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能
■ エンコーダ付で、10-9 mbarまでの真空、耐放射線（最大1000㎜トラベル）対応
MICRONIX USA
PPX-32
■ XYアッセンブリ、 ボールスライド
■ ストローク: 18 x 18 mm
■ ステージサイズ: 32 x 32 mm, 厚さ 14 mm
■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 1 N
■ 最大移動速度: 2 ( MMC-100 使用時 ), 5 mm / sec ( MMC-110 使用時 )
■ オープンループ分解能: 1 nm
■ クローズドループ最少移動量: 1 nm
■ 10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、耐放射線対応
MICRONIX USA
PPX-50
■ XYアッセンブリ、 ボールスライド
■ ストローク: 18 x 18 mm
■ 19 mm 角 スルーホール
■ ステージサイズ: 50 x 50 mm, 厚さ 17.5 mm
■ Load: 3 kg ( 30 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 2 N
■ 最大移動速度: 2 ( MMC-100 使用時 ), 5 mm / sec ( MMC-110 使用時 )
■ オープンループ分解能: 1 nm
■ クローズドループ最少移動量: 1 nm
■ 10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、非磁性、耐放射線対応
MICRONIX USA
PR-20 開発中！
■ 回転ステージ、 3mmアパーチャ付
■ 360度回転
■ ステージサイズ: 20 x 20.2 mm , 厚さ 12 mm
■ Load: 0.2 kg ( 2 N @ horizontal orientation )
■ 最大移動速度:15 [°/s](MMC-100), 75 [°/s] (MMC-110)
■ オープンループ分解能: 500 μ°
■ クローズドループ最少移動量: 500 μ°
■ 10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、/磁性、耐放射線対応
MICRONIX USA
PR-32
■ 回転ステージ、 0.5インチアパーチャ付
■ 360度回転
■ ステージサイズ: 32 x 35.5 mm , 厚さ 14 mm
■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )
■ 最大移動速度:6 [°/s](MMC-100), 30 [°/s](MMC-110)
■ オープンループ分解能: 3.6 μ°
■ クローズドループ最少移動量: 5 μ°
■ 10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、耐放射線対応
MICRONIX USA
PR-50
■ 回転ステージ、 0.5インチアパーチャ付
■ 360度回転
■ ステージサイズ: 55 x 50 mm , 厚さ 26.5 mm
■ Load: 3 kg ( 20 N @ horizontal orientation )
■ 最大移動速度:15 [°/s](MMC-100), 25 [°/s](MMC-110)
■ オープンループ分解能: 1 μ°
■ クローズドループ最少移動量: 5 μ°
■ 10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、耐放射線対応
MICRONIX USA
PG-50PM
■ ゴニオステージ
■ ±５度
■ ステージサイズ: 50 x 50 mm , 厚さ 16 mm(中央に静止時)
■ Load: 2 kg ( 5 N @ horizontal orientation )
■ 最大移動速度:3 [°/s]
■ オープンループ分解能: 1 μ°
■ クローズドループ最少移動量: 10 μ°
■ 10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、耐放射線対応
ピエゾモータの詳細はこちらをご覧下さい。( 5.3MB )⇒
コントローラについてはこちらをご覧下さい。⇒
スピードが必要な場合はリニアステージをご覧下さい。⇒
Blocking Force が必要な場合はステッピングモータステージをご覧下さい。⇒
更新 2019/12/13
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