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高精度 小型 薄型 ピエゾステージ

MICRONIX USA社のピエゾステージは、小型で、高分解能なステージです。 X軸ステージ、XYステージ、回転ステージをご用意しています。また、特注で、これらのステージを利用したヘキサポッドも製造可能です。

エンコーダ付で、10-9 Torrまでの超高真空、4Kまでの低温、非磁性のアプリケーション(最大1000㎜トラベル)も対応可能です。

MICRONIX社のピエゾステージは、Multi-Phase方式(特許)で駆動しています。この方式は、従来よく使用されている1Phase方式に比べ、ノイズが少ない為、動きがより滑らかになり、安定性も高くなります。

ピエゾモータの詳細はこちらをご覧下さい。( 5.3MB )⇒

通常品のステージ本体はアルミニウム、ベアリングはスチールですが、その他の材料(ステンレス、チタン等)での特注も可能です。

*モデル名をクリックすると、詳細仕様と図面等が記載されたメーカサイトへジャンプします。

maunt
XYZアッセンブリもお客様サイドで簡単に可能です。
カスタムシステムも可能です。お気軽にお問い合わせ下さい。⇒カスタム例はこちらへ
真空、低温、非磁性の仕様の詳細はこちらへ⇒

PP-12

MICRONIX USA
PP-12new

■ スチール製 ボールスライド

■ ストローク: 4 mm

■ ステージサイズ: 12 x 12mm, 厚さ7mm

■ Load: 0.25 kg ( 2.5 N @ horizontal orientation )

■ Blocking force : 1 N

■ 最大移動速度: 1 ( MMC-100 使用時 ), 3 mm / sec ( MMC-110 使用時 )

■ オープンループ分解能: 1 nm

■ クローズドループ最少移動量: 20 nm

■ 10-9 mbarまでの真空対応

PP-12

MICRONIX USA
PP-18new

MMC-10コントローラと合わせて低価格を実現!

■ スチール製 クロスローラベアリング

■ ストローク: 12, 18, 26 mm

■ ステージサイズ: 最小 17 x 20mm, 厚さ10mm

■ Load: 0.5 kg ( 5 N @ horizontal orientation )

■ Blocking force : 1.5 N

■ 最大移動速度: 2 mm / sec

■ オープンループ分解能: ±10 nm

■ クローズドループ最少移動量: 40 nm

PPS-20

MICRONIX USA
PPS-20

■ スチール製 クロスローラベアリング

■ ストローク: 12, 18, 26, 51 mm

■ ステージサイズ: 最小 20 x 20 mm, 厚さ 13mm

■ Load: 2 kg ( 20 N @ horizontal orientation)

■ Blocking force : 2 N

■ 最大移動速度:2 ( MMC-100 使用時 ), 10 mm / sec ( MMC-110 使用時 )

■ オープンループ分解能: 1 nm

■ クローズドループ最少移動量: 2 nm ( 10 nm @ 4K )

■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能

■ エンコーダ付で、10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、4 K までの低温、非磁性、耐放射線(最大51㎜トラベル)対応

PPS-28

MICRONIX USA
PPS-28

■ スチール製 クロスローラベアリング

■ ストローク: 26, 51, 76, 102 mm

■ ステージサイズ: 最小 28 x 45 mm, 厚さ 15mm

■ Load: 5 kg ( 50 N @ horizontal orientation )

■ Blocking force : 2 N

■ 最大移動速度: 2 ( MMC-100 使用時 ), 10 mm / sec ( MMC-110 使用時 )

■ オープンループ分解能: 1 nm

■ クローズドループ最少移動量: 1 nm ( 10 nm @ 4K )

■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能

■ エンコーダ付で、10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、 4 Kまでの低温、非磁性、耐放射線(最大102㎜トラベル)対応

PPS-60

MICRONIX USA
PPS-60PM

■ スチール製 ボールベアリング

■ ストローク: 25, 50, 100, 200, 300 mm

■ ステージサイズ: 最大 60 x 304 mm, 厚さ 30mm

■ Load: 15 kg ( 150 N @ horizontal orientation )

■ Blocking force : 5 N

■ 最大移動速度: 5 mm / sec ( MMC-110 使用時 )

■ オープンループ分解能: 1 nm

■ クローズドループ最少移動量: 2 nm ( 10 nm @ 4K )

■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能

■ エンコーダ付で、10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、4 K までの低温、非磁性、耐放射線(最大300㎜トラベル)対応

PPS-60

MICRONIX USA
PPS-110PM new

■ スチール製 リサーキュレーティング・ボールベアリング

■ ストローク: 100, 200, 300, 500, 1000 mm

■ ステージサイズ: 最大 120.7 x 1140 mm, 厚さ 40mm

■ Load: 25 kg ( 250 N @ horizontal orientation )

■ Blocking force : 5 N

■ 最大移動速度: 5 mm / sec ( MMC-110 使用時 )

■ オープンループ分解能: 1 nm

■ クローズドループ最少移動量: 2 nm ( 10 nm @ 4K )

■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能

■ エンコーダ付で、10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、4 K までの低温、非磁性、耐放射線(最大1000㎜トラベル)対応

ppx-32

MICRONIX USA
PPX-32

■ XYアッセンブリ、 ボールスライド

■ ストローク: 18 x 18 mm

■ ステージサイズ: 32 x 32 mm, 厚さ 14 mm

■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )

■ Blocking force : 1 N

■ 最大移動速度: 2 ( MMC-100 使用時 ), 5 mm / sec ( MMC-110 使用時 )

■ オープンループ分解能: 1 nm

■ クローズドループ最少移動量: 1 nm

■ 10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、耐放射線対応

ppx-32

MICRONIX USA
PPX-50new

■ XYアッセンブリ、 ボールスライド

■ ストローク: 18 x 18 mm

■ 19 mm 角 スルーホール

■ ステージサイズ: 50 x 50 mm, 厚さ 17.5 mm

■ Load: 3 kg ( 30 N @ horizontal orientation )

■ Blocking force : 2 N

■ 最大移動速度: 2 ( MMC-100 使用時 ), 5 mm / sec ( MMC-110 使用時 )

■ オープンループ分解能: 1 nm

■ クローズドループ最少移動量: 1 nm

■ 10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、耐放射線対応

pr-20

MICRONIX USA
PR-20 開発中!

■ 回転ステージ、 3mmアパーチャ付

■ 360度回転

■ ステージサイズ: 20 x 20.2 mm , 厚さ 12 mm

■ Load: 0.2 kg ( 2 N @ horizontal orientation )

■ 最大移動速度:15 [°/s](MMC-100), 75 [°/s] (MMC-110)

■ オープンループ分解能: 500 μ°

■ クローズドループ最少移動量: 500 μ°

■ 10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、非磁性、耐放射線対応

pr-32

MICRONIX USA
PR-32

■ 回転ステージ、 0.5インチアパーチャ付

■ 360度回転

■ ステージサイズ: 32 x 35.5 mm , 厚さ 14 mm

■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )

■ 最大移動速度:6 [°/s](MMC-100), 30 [°/s](MMC-110)

■ オープンループ分解能: 3.6 μ°

■ クローズドループ最少移動量: 5 μ°

■ 10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、耐放射線対応

pr-32

MICRONIX USA
PR-50new

■ 回転ステージ、 0.5インチアパーチャ付

■ 360度回転

■ ステージサイズ: 55 x 50 mm , 厚さ 26.5 mm

■ Load: 3 kg ( 20 N @ horizontal orientation )

■ 最大移動速度:15 [°/s](MMC-100), 25 [°/s](MMC-110)

■ オープンループ分解能: 1 μ°

■ クローズドループ最少移動量: 5 μ°

■ 10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、耐放射線対応

pg50

MICRONIX USA
PG-50PMnew

■ ゴニオステージ

■ ±5度

■ ステージサイズ: 50 x 50 mm , 厚さ 16 mm(中央に静止時)

■ Load: 2 kg ( 5 N @ horizontal orientation )

■ 最大移動速度:3 [°/s]

■ オープンループ分解能: 1 μ°

■ クローズドループ最少移動量: 10 μ°

■ 10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、耐放射線対応

ピエゾモータの詳細はこちらをご覧下さい。( 5.3MB )⇒
コントローラについてはこちらをご覧下さい。⇒
スピードが必要な場合はリニアステージをご覧下さい。⇒
Blocking Force が必要な場合はステッピングモータステージをご覧下さい。⇒

更新 2017/01/12