取 扱 製 品
測 定 器
HighFinesse
高精度波長計 WSシリーズ
★測定スピードも上がり、Linuxにも対応した、Next generationモデル新登場!
■ 測定波長域: 193 nm ~ 11 μm
■ 測定精度: 最高 ±2 MHz
■ CW, パルス測定可能
■ 最大38kHzで測定データ取込可能・波長の高速PID制御可能
■ オプション追加で8波長まで1台の波長計で測定可能
HighFinesse
スペクトルメータ LSAシリーズ
★ 高精度モデル新発売!
■ 測定波長域: 192 nm ~ 11 μm
■ 測定精度: 最高 3 GHz ( 3.9 pm @ 630 nm )
■ データ取込速度: 最大 500 Hz ( 2.5 msec )
■ CW, パルス測定可能
HighFinesse
光線幅&周波数ノイズ測定器 LWA
狭線幅のレーザのスペクトル幅と周波数ノイズを高精度、高分解能に測定
■ 測定波長域:
■ 線幅測定:350 Hz~20 MHz
■ PIDオプション: 周波数ノイズ・RINノイズ低減の為のエラーシグナルを出力
■ PC上で解析
小型ステージ
MICRONIX USA
高精度 小型 ピエゾステージ
より滑らかで安定動作が可能なMulti-Phase方式(特許)を採用
★ ステージとコントローラを合わせた低価格モデル新登場!
■ Xステージ、XYステージ、回転ステージ、ゴニオステージ
■ ストローク: 4 mm 〜 1000 mm
■ ステージサイズ: 最小 12 x 12 mm 厚さ 7 mm
■ Load: max 25 kg ( 250 N @ horizontal orientation)
■ Blocking force : max 5 N
■ 最大移動速度: 〜 10 mm / sec
■ 分解能: 1 nm 〜 50 nm
■ XY, XZ, XYZアッセンブリ, ヘキサポッド可能
■ エンコーダ付で、10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、77 K までの低温、非磁性、耐放射線(最大102㎜トラベル)対応
MICRONIX USA
小型 薄型 回転 ピエゾステージ
■ アパーチャー径: 1インチ、1/2インチm
■ ステージサイズ: 最小 29.4 x 35.5 mm 厚さ 14 mm
■ Load: max 3 kg ( 10 N @ horizontal orientation)
■ Blocking force : max 5 N
■ 最大移動速度: 15 [°/s](MMC-100), 25 [°/s](MMC-110)
■ 最小分解能: 1 μ°
■ エンコーダ付で、10-9 mbarまでの真空、クリーンルーム、、耐放射線対応
MICRONIX USA
小型 直動ステージ & アクチュエータ
■ ステッピングモータステージ & アクチュエータ
■ X軸ステージ、Z軸ステージ、回転ステージ、ゴニオステージ
■ ストローク: 10 mm 〜 1000 mm
■ ステージサイズ: 最小 39 x 62 mm 厚さ 15 mm
■ Load: max 20 kg ( 200 N @ horizontal orientation)
■ Blocking force : max 30 N
■ 最大移動速度: 10 mm / sec
■ 分解能: 50 nm 〜 100 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ XY, XZ, XYZアッセンブリ, ヘキサポッド可能
■ 10-9 mbarまでの真空対応
MICRONIX USA
高速 高精度 小型直動ステージ
■ リニアモータステージ
■ ストローク: 11 mm 〜 1000 mm
■ ステージサイズ: 最小 33 x 37.3 mm
■ Load: max 25 kg ( 250 N @ horizontal orientation)
■ 最大移動速度: 250 mm / sec
■ 分解能: 2 nm 〜 10 nm
光源
● 半導体レーザ
古河電工
FBG ポンプレーザモジュール FOL1437,1439,1441シリーズ
■ 波長: 1330 〜 1520 nm から指定
■ 出力: 250 〜 700 mW
■ 波長安定化用FBG付
その他
更新 2024/04/12