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小型 精密位置決めステージ

MICRONIX USA社のステッピングモータステージは、小型で、低価格なステージです。X軸ステージ、Z軸ステージ、回転ステージ、ゴニオステージ、アクチュエータをご用意しています。また、特注で、これらのステージを利用したヘキサポッドも製造可能です。

10-9 Torrまでの真空に対応致します。

*モデル名をクリックすると、詳細仕様と図面等が記載されたメーカサイトへジャンプします。

maunt
★XYZアッセンブリもお客様サイドで簡単に可能です。
カスタムシステムも可能です。お気軽にお問い合わせ下さい。⇒カスタム例はこちらへ
真空仕様の詳細はこちらへ⇒
★ステージ取付部の平面度が不十分な場合、性能が得られない事がありますので、平面度は10um以内を目安にご用意下さい。

PPS-20

MICRONIX USA
PPS-20SM

■ スチール製 クロスローラベアリング

■ ストローク: 12, 18, 26, 51 mm

■ ステージサイズ: 最小 39 x 62 mm, 厚さ 15 mm

■ Load: 2 kg ( 20 N @ horizontal orientation)

■ Blocking force : 5 N

■ 最大移動速度: 5 mm / sec

■ オープンループ分解能: 100 nm

■ クローズドループ最少移動量: 100 nm

■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ,ヘキサポッド可能

■ 10-6 mbarまでの真空対応

■ オプションで+-200nm精度のスケールを取付け可能

PPS-28

MICRONIX USA
PPS-28SM

■ スチール製 クロスローラベアリング

■ ストローク: 26, 51, 76, 102 mm

■ ステージサイズ: 最小 48 x 85 mm, 厚さ 15mm

■ Load: 5 kg ( 50 N @ horizontal orientation )

■ Blocking force : 5 N

■ 最大移動速度: 5 mm / sec

■ オープンループ分解能: 100 nm

■ クローズドループ最少移動量: 100 nm

■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ,ヘキサポッド可能

■ 10-6 mbarまでの真空対応

PPS-60

MICRONIX USA
PPS-60SM

■ スチール製 ボールベアリング

■ ストローク: 25, 50, 100, 200, 300 mm

■ Load: 15 kg ( 150 N @ horizontal orientation )

■ 最大移動速度: 5 mm / sec, モータ外付時 15 mm / s

■ オープンループ分解能: 100 nm

■ クローズドループ分解能: 50 nm

■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ,ヘキサポッド可能 ( ES-50 Z軸ステージも使用可 )

■ 10-9 mbarまでの真空対応

PPS-60

MICRONIX USA
PPS-110SMnew

■ スチール製 リサーキュレーティング・ボールベアリング

■ ストローク: 100, 200, 300, 500, 1000 mm

■ Load: 25 kg ( 250 N @ horizontal orientation )

■ 最大移動速度: 10 mm / sec

■ オープンループ分解能: 100 nm

■ クローズドループ分解能: 50 nm

■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ,ヘキサポッド可能 ( ES-50 Z軸ステージも使用可 )

■ 10-9 mbarまでの真空対応

VT-21S

MICRONIX USA
VT-21S

■ ボールスライド

■ ストローク: 10 mm

■ ステージサイズ: 22 x 24 mm, 厚さ20.6 mm

■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )

■ Blocking force : 10 N

■ 最大移動速度: 5 mm / sec

■ オープンループ分解能: 500 nm

■ クローズドループ分解能: 50 nm

■ クローズドループ最少移動量: 100 nm

■ メカニカル リミットスイッチ付

■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能

■ 10-6 mbarまでの真空対応

VT-21L

MICRONIX USA
VT-21L

■ ボールスライド

■ ストローク: 26 mm

■ ステージサイズ: 22 x 46 mm, 厚さ20.6 mm

■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )

■ Blocking force : 10 N

■ 最大移動速度: 5 mm / sec

■ オープンループ分解能: 500 nm

■ クローズドループ分解能: 50 nm

■ クローズドループ最少移動量: 100 nm

■ メカニカル リミットスイッチ付

■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能

■ 10-6 mbarまでの真空対応

VT-21S

MICRONIX USA
VT-21S

■ ボールスライド

■ ストローク: 10 mm

■ ステージサイズ: 22 x 24 mm, 厚さ20.6 mm

■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )

■ Blocking force : 10 N

■ 最大移動速度: 5 mm / sec

■ オープンループ分解能: 500 nm

■ クローズドループ分解能: 50 nm

■ クローズドループ最少移動量: 100 nm

■ メカニカル リミットスイッチ付

■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能

■ 10-6 mbarまでの真空対応

VT-21L

MICRONIX USA
VT-21L

■ ボールスライド

■ ストローク: 26 mm

■ ステージサイズ: 22 x 46 mm, 厚さ20.6 mm

■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )

■ Blocking force : 10 N

■ 最大移動速度: 5 mm / sec

■ オープンループ分解能: 500 nm

■ クローズドループ分解能: 50 nm

■ クローズドループ最少移動量: 100 nm

■ メカニカル リミットスイッチ付

■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能

■ 10-6 mbarまでの真空対応

VT-50L

MICRONIX USA
VT-50L

■ ボールベアリング ( クロスローラベアリングオプション )

■ ストローク: 55, 100, 200, 300 mm

■ ステージサイズ: 最小214.2 x 61.7 mm, 厚さ 39.8 mm

■ Load: 20 kg ( 200 N @ horizontal orientation )

■ Blocking force : 50 N

■ 最大移動速度: 10 mm / sec

■ オープンループ分解能: 100 nm

■ クローズドループ分解能: 50 nm

■ メカニカル リミットスイッチ付

■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能 ( ES-50 Z軸ステージも使用可 )

■ 10-6 mbarまでの真空対応

pp-17

MICRONIX USA
ES-50

■ Z軸ステージ

■ ボールスライド

■ ストローク: 10 mm

■ ステージサイズ: 41 x 49 mm, 厚さ最小 41 mm

■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )

■ 最大移動速度: 5 mm / sec

■ オープンループ分解能: 500 nm

■ クローズドループ分解能: 50 nm

■ メカニカル リミットスイッチ付

■ 10-6 mbarまでの真空にも対応

pzs-90

MICRONIX USA
PZS-90

■ Z軸ステージ

■ スチール製 クロスローラーベアリング

■ ストローク: 35 mm

■ ステージサイズ: 90 x 96 mm, 厚さ最小 90.5 mm

■ Load: 15 kg ( 150 N @ horizontal orientation )

■ 最大移動速度: 10 mm / sec

■ オープンループ分解能: 500 nm

■ クローズドループ分解能: 100 nm

■ メカニカル リミットスイッチ付

■ PPS-60, PPS-110, VT50Lとあわせて XZ, XYZ アッセンブリ可能

■ 10-6 mbarまでの真空にも対応

pr-32

MICRONIX USA
PR-50SMnew

■ 回転ステージ

■ 360度回転

■ ステージサイズ: 52 x 61 mm , 厚さ 41 mm

■ Load: 2 kg ( 20 N @ horizontal orientation )

■ 最大移動速度: 1800[°/s] ( 5 rev / sec )

■ オープンループ分解能: 10 μ°

■ クローズドループ最少移動量: 5 μ°

■ 10-6 mbarまでの真空対応

pr-32

MICRONIX USA
PG-50SMnew

■ ゴニオステージ

■ +-5度回転

■ ステージサイズ: 50 x 96 mm , 厚さ 22 mm (79mm )

■ Load: 2 kg ( 20 N @ horizontal orientation )

■ 最大移動速度: 5[°/s]

■ オープンループ分解能: 1 μ°

■ クローズドループ最少移動量: 1 μ°

■ 10-6 mbarまでの真空対応

ppxMP-21

MICRONIX USA
MP-21

■ アクチュエータ

■ ストローク: 12, 25 mm

■ サイズ: 20.2 x 23.2 mm, 長さ最小 52.8 mm

■ Force: 40 N

■ 最大移動速度: 5 mm / sec

■ オープンループ分解能: 100 nm

■ メカニカル リミットスイッチ付

■ 10-6 mbarまでの真空対応

ppxMPA-20

MICRONIX USA
MPA-20

■ 超高真空用アクチュエータ

■ フィードスルーオプション

■ ストローク: 12 mm

■ サイズ: 33 mm径, 長さ最小 176 mm

■ Force: 100 N

■ オープンループ分解能: 100 nm

■ メカニカル リミットスイッチ付

■ 10-9 mbarまでの真空対応

コントローラについてはこちらをご覧下さい。⇒
スピードが必要な場合はリニアステージをご覧下さい。⇒
分解能 が必要な場合はピエゾモータステージをご覧下さい。⇒

更新 2017/08/02